[发明专利]一种双极型近红外光敏场效应管及其制备方法

摘要

本发明公开了一种双极型近红外光敏场效应管及其制备方法，主要采用真空蒸镀法，以p型有机小分子酞氰铜和n型有机小分子全氟酞氰铜作为异质结有源层，以金属氧化物五氧化二钒和小分子有机物2T‑NATA组成的多层超晶格结构作为光敏层，以包含300nm二氧化硅的重掺杂n型(100)硅片为衬底，以金作为源/漏电极材料制备薄膜场效应管。本发明制备方法成熟、生产成本低，所得场效应管不仅结构简单、具有双极型场效应特性和较高的稳定性，还可以对波长1000‑1400nm范围内的近红外光有较高的光响应度，在光纤通信、生物医疗、红外探测和成像等方面具有潜在的应用价值。