[发明专利]一种功率电极及等离子体处理设备在审
| 申请号： | 202111523567.3 | 申请日： | 2021-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN114203513A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 姜崴;苏欣;谈太德;张赛谦;杨艳 | 申请（专利权）人： | 拓荆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李带娣 |
| 地址： | 110170 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种功率电极及等离子体处理设备，该功率电极的中心区域相对作为下电极的基座的距离较近，外围区域相对基座比较远，故该等离子体设备的反应室内部中间区域的等离子体密度比较高，外围区域的等离子体密度比较低，其中中间区域的等离子体对于晶圆加工起到主要作用，中间区域产生均匀等离子体的沉积区域，周边的等离子体密度小可以消除与功率电极薄膜层的影响，提高功率电极的使用寿命，进而提高等离子体设备的使用寿命和保障晶圆加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功率 电极 等离子体 处理 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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