[发明专利]一种多光谱合成紫外光源模组及DLP面投影系统在审
申请号: | 202111520949.0 | 申请日: | 2021-12-13 |
公开(公告)号: | CN114228147A | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
发明(设计)人: | 翟金会 | 申请(专利权)人: | 瑞迪光电(深圳)有限公司 |
主分类号: | B29C64/277 | 分类号: | B29C64/277;G03B21/20;B33Y30/00 |
代理公司: | 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504 | 代理人: | 罗炳锋 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种多光谱合成紫外光源模组及DLP面投影系统,其包括有至少两个第一紫外光源、至少一个第二紫外光源、第一准直机构、第二准直机构和光束合成机构,至少两个第一紫外光源的峰值波长不同,所述第二紫外光源与所述第一紫外光源的峰值波长不同,所述第一紫外光源出射的光束经过所述第一准直机构射入所述光束合成机构,所述第二紫外光源出射的光束经过所述第二准直机构射入所述光束合成机构,所述光束合成机构用于将所述第一紫外光源出射的光束和所述第二紫外光源出射的光束重叠成为同轴光束。相比现有技术而言,本发明可使得紫外光固化或光刻胶刻蚀的效果更好,同时,多个光源的合成增加了光通量,能显著提高紫外光固化和刻蚀的速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 光谱 合成 紫外 光源 模组 dlp 投影 系统 | ||
【主权项】:
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