[发明专利]一种多光谱合成紫外光源模组及DLP面投影系统

权利要求书

1.一种多光谱合成紫外光源模组，其特征在于，包括有至少两个第一紫外光源(1)、至少一个第二紫外光源(2)、第一准直机构(3)、第二准直机构(4)和光束合成机构，至少两个第一紫外光源(1)的峰值波长不同，所述第二紫外光源(2)与所述第一紫外光源(1)的峰值波长不同，所述第一紫外光源(1)出射的光束经过所述第一准直机构(3)射入所述光束合成机构，所述第二紫外光源(2)出射的光束经过所述第二准直机构(4)射入所述光束合成机构，所述光束合成机构用于将所述第一紫外光源(1)出射的光束和所述第二紫外光源(2)出射的光束重叠成为同轴光束。

2.如权利要求1所述的多光谱合成紫外光源模组，其特征在于，至少两个第一紫外光源(1)封装于同一基板上。

3.如权利要求1所述的多光谱合成紫外光源模组，其特征在于，所述光束合成机构包括有一个二向色板(5)，所述二向色板(5)用于反射至少两个第一紫外光源(1)出射的光束，以及用于透射至少一个第二紫外光源(2)出射的光束。

4.如权利要求1所述的多光谱合成紫外光源模组，其特征在于，所述光束合成机构包括有两个二向色板(5)，两个二向色板(5)之间形成有楔角(50)，两个二向色板(5)分别用于反射两个第一紫外光源(1)出射的两个不同波长的光束，以及用于透射所述第二紫外光源(2)出射的光束。

5.如权利要求4所述的多光谱合成紫外光源模组，其特征在于，两个第一紫外光源(1)的峰值波长分别为365nm和385nm，所述第二紫外光源(2)的峰值波长为405nm。

6.如权利要求4所述的多光谱合成紫外光源模组，其特征在于，两个第一紫外光源(1)的峰值波长分别为365nm和425nm，所述第二紫外光源(2)的峰值波长为405nm。

7.如权利要求4所述的多光谱合成紫外光源模组，其特征在于，所述第一紫外光源(1)和所述第二紫外光源(2)的光谱带宽为15nm～25nm。

8.一种用于3D光固化打印的DLP面投影系统，其特征在于，包括有权利要求1至7任一项所述的紫外光源模组、第一匀光器(6)、第一聚焦光学机构(7)、第一DLP面板(8)、TIR棱镜机构(9)和投影机构(10)，所述紫外光源模组出射的同轴光束依次通过所述第一匀光器(6)、所述第一聚焦光学机构(7)和所述TIR棱镜机构(9)射入所述投影机构(10)，所述第一DLP面板(8)设于所述TIR棱镜机构(9)背向所述投影机构(10)的一侧；

所述DLP面投影系统用于实现整个面型图案的紫外固化，并通过预设执行机构的上提或下拉动作来完成逐层固化，进而实现树脂材料的3D光固化打印。

9.一种用于大幅面PCB板曝光刻蚀的DLP面投影系统，其特征在于，包括有权利要求1至7任一项所述的紫外光源模组、第二匀光器(11)、第二聚焦光学机构(12)、第二DLP面板(13)、DLP匀光照明机构(14)和PCB蚀刻投影机构(15)，所述紫外光源模组出射的同轴光束依次通过所述第二匀光器(11)、所述第二聚焦光学机构(12)和所述DLP匀光照明机构(14)射入所述PCB蚀刻投影机构(15)，所述第二DLP面板(13)设于所述DLP匀光照明机构(14)背向所述PCB蚀刻投影机构(15)的一侧；

所述DLP面投影系统用于实现光刻胶材料的整个面型刻蚀，并通过预设扫描机构的滚动扫描来实现大幅面PCB板的曝光刻蚀。

10.如权利要求8或9所述的DLP面投影系统，其特征在于，包括有至少2个DLP面投影系统，至少2个DLP面投影系统组成一个DLP面投影系统阵列，所述DLP面投影系统阵列用于实现面投影画面的拼接，再配合精密移动机构实现大幅面滚动扫描3D打印或PCB刻蚀。