[发明专利]一种磁控仿生薄膜微结构的制造方法在审
| 申请号： | 202111520795.5 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN114236967A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 张遒姝;彭倍;马志楠;文盼 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 邓黎 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁控仿生薄膜微结构的制造方法，属于智能材料和微细加工领域。本发明通过限定磁性纳米粒子与PDMS混合物的混合比例和混合方式，结合玻璃棒搅拌、超声波振荡和涡旋混匀控制磁性纳米粒子在PDMS中的分布和形态，获得的薄膜微结构既具有良好的磁响应特性，又能够形成精细的薄膜表面微结构。另外，薄膜的显微组织和磁性纳米粒子的浓度对磁致弹性模量有显著影响，本发明提供了3种显微组织的形成方法并限定了磁性纳米粒子的浓度范围，可以实现通过磁场有效地控制薄膜微结构的摩擦性能和运动特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 仿生 薄膜 微结构 制造 方法 | ||
【主权项】：
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