[发明专利]一种磁控仿生薄膜微结构的制造方法在审
| 申请号： | 202111520795.5 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN114236967A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 张遒姝;彭倍;马志楠;文盼 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 邓黎 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 仿生 薄膜 微结构 制造 方法 | ||
1.一种磁控仿生薄膜微结构的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1.将负光刻胶均匀旋涂于基底上；
S2.采用光刻工艺在负光刻胶表面形成微米尺度正六边形凹槽阵列凹模板；
S3.将PDMS预聚物和固化剂以重量比10:1充分混合得到PDMS混合物；
S4.将磁性纳米粒子以10％-40％的重量百分比与步骤S3所得PDMS混合物混合均匀，得到PDMS-磁性纳米粒子液态混合物；
S5.将步骤S2所得凹模板放置于匀胶机样品台中心位置并固定，取步骤S4获得的PDMS-磁性纳米粒子液态混合物置于凹模版的中心部位进行旋涂，得到厚度30-100微米的PDMS-磁性纳米粒子复合涂膜；
S6.将步骤S5获得的PDMS-磁性纳米粒子复合涂膜放置于磁场中60-80分钟，在磁场作用下磁性纳米粒子沿磁场方向重新排列，形成各向异性显微组织；
S7.烘烤步骤S6所述处于磁场中的PDMS-磁性纳米粒子复合涂膜，直至PDMS完全固化，剥离凹模板即得到磁控仿生薄膜微结构。
2.如权利要求1所述的一种磁控仿生薄膜微结构的制造方法，其特征在于，将步骤S5所得的PDMS-磁性纳米粒子复合涂膜不经步骤S6处理，直接烘烤、脱模，所得薄膜微结构的显微组织为各向同性。
3.如权利要求1或2所述的一种磁控仿生薄膜微结构的制造方法，其特征在于，所述S4中混合方式为：用玻璃棒充分搅拌后，放入超声波振荡仪中振荡10-30分钟，然后使用涡旋混匀器振荡1-3分钟，得到PDMS-磁性纳米粒子液态混合物。
4.如权利要求1或2所述的一种磁控仿生薄膜微结构的制造方法，其特征在于，所述磁性纳米粒子为Fe3O4纳米粒子或羰基铁纳米粒子。
5.如权利要求1或2所述的一种磁控仿生薄膜微结构的制造方法，其特征在于，所述磁性纳米粒子为粒径20-50nm的球形粒子。
6.如权利要求1或2所述的一种磁控仿生薄膜微结构的制造方法，其特征在于，所述S6中磁场方向平行或者垂直于PDMS-磁性纳米粒子复合涂膜。
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