[发明专利]一种串联真空腔体内气流场的控制方法及控制系统有效
| 申请号： | 202111519682.3 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN114371741B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 吴易龙;苏卫中;李若儒;李锦荣;陈臻阳;杨彬 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 廖元宝 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种串联真空腔体内气流场的控制方法及系统，所述方法包括步骤：S01、预先将其中部分真空腔体的蝶阀设为主蝶阀，并设置为压力控制模式，其它真空腔体的蝶阀设为从蝶阀，并设置为位置控制模式；其中主蝶阀与从蝶阀相互对应；S02、获取主蝶阀对应的真空腔体内的压力，并根据压力调整所述主蝶阀的开度，进入压力控制模式；S03、获取所述主蝶阀的开度，根据所述主蝶阀的开度来实时调整对应各从蝶阀的开度，进入位置控制模式。本发明能够获得稳定均匀的气流场，而且操作简便且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 串联 空腔 体内 气流 控制 方法 控制系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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