[发明专利]一种大面积体布拉格光栅的反射率测试装置与方法有效

专利信息
申请号: 202111519452.7 申请日: 2021-12-14
公开(公告)号: CN113916512B 公开(公告)日: 2022-02-22
发明(设计)人: 白建东;郑永秋;赵馨瑜;高晓宇;李宗灏;薛晨阳 申请(专利权)人: 中北大学
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 代理人: 赵江艳
地址: 030051*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明属于光栅微纳技术领域,公开了一种大面积体布拉格光栅的反射率测试装置与方法,装置包括宽带激光器,半波片,偏振分光棱镜,四分之一波片,扩束透镜组和体光栅固定夹具和光功率计;体光栅固定夹具用于设置待测体光栅;宽带激光器发出的光经半波片、偏振分光棱镜后一部分光入射至四分之一波片,经四分之一波片变成圆偏振光后、经扩束透镜组入射至待测体光栅;待测体光栅反射的光经扩束透镜组、四分之一波片、偏振分光棱镜后被光功率计接收。本发明利用偏振分光棱镜和相位波片进行大面积体布拉格光栅的反射率测试,结构简单、操作方便,对于应用于高温高压等恶劣环境的基于法布里‑珀罗腔的光栅传感器的优化设计具有重要意义。
搜索关键词: 一种 大面积 布拉格 光栅 反射率 测试 装置 方法
【主权项】:
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