[发明专利]一种接触式光谱共焦装置在审
| 申请号: | 202111508881.4 | 申请日: | 2021-12-10 |
| 公开(公告)号: | CN114199137A | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
| 发明(设计)人: | 刘杰波 | 申请(专利权)人: | 深圳立仪科技有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
| 代理公司: | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人: | 冯建华;谢志龙 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区坪*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明公开一种接触式光谱共焦装置,包括:光孔径、色散部、反射表面以及接触部,光源发出多个波长的光从光孔径通向色散部,色散部将光色散使得不同波长的色散光聚焦在不同的点,反射表面将聚焦到其上的波长的光反射回去,光测量部接收反射表面反射的光进行测量或表征,待测量或表征的位移量通过接触部带动反射表面或色散部中的至少一个运动,使得反射表面和色散光产生相对运动,实现光谱共焦色散光测量或表征接触位移量。本装置实现将接触式位移转换成非接触位移并被光谱共焦测量到,可以接触式地测量或表征被测位移,减少油、水、粉尘等的干扰,解决了业界痛点问题,能将光谱共焦测量原理扩展到更多应用领域和场合,具有巨大的价值和经济效率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 接触 光谱 装置 | ||
【主权项】:
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