[发明专利]一种接触式光谱共焦装置

权利要求书

1.一种接触式光谱共焦装置，其特征在于，包括：光孔径、色散部、反射表面以及接触部；

所述光孔径用于供从光源发射的宽带光通过，或供从所述反射表面反射回来的测量光通向光测量部，或同时具有上述两种功能；

所述色散部用于将来自光孔径的光色散，使得不同波长的色散光在不同位置成像；

所述反射表面接收部分色散光并将聚焦到反射表面的光线返回所述色散部；

所述接触部用于接触需要测量的物体或需要表达的驱动物；

光源发出多个波长的光从光孔径通向色散部，色散部将光色散使得不同波长的色散光聚焦在不同的点，反射表面将聚焦到其上的波长的光反射回去，光测量部接收反射表面反射的光进行测量或表征，待测量或表征的位移量通过接触部带动反射表面或色散部中的至少一个运动，使得反射表面和色散光产生相对运动，实现光谱共焦色散光测量或表征接触位移量。

2.根据权利要求1所述的接触式光谱共焦装置，其特征在于，所述反射表面反射光的波长特征和接触位移之间建立对应关系，所述关系用于后续利用反射表面反射光的波长计算接触位移。

3.根据权利要求1所述的接触式光谱共焦装置，其特征在于，还包括相对运动部，所述接触部运动带动所述相对运动部运动，所述相对运动部带动所述反射表面运动。

4.根据权利要求3所述的接触式光谱共焦装置，其特征在于，所述接触部以竖直移动的方式带动所述反射表面相对于所述色散部上下移动。

5.根据权利要求3所述的接触式光谱共焦装置，其特征在于，所述接触部以摆动的方式带动所述反射表面相对于所述色散部上下移动。

6.根据权利要求3所述的接触式光谱共焦装置，其特征在于，所述接触部以旋转的方式带动所述反射表面相对于所述色散部上下移动。

7.根据权利要求3所述的接触式光谱共焦装置，其特征在于，所述接触部以水平移动的方式带动所述反射表面相对于所述色散部上下移动。

8.根据权利要求1-7任一项所述的接触式光谱共焦装置，其特征在于，还包括壳体以及密封部，所述反射表面位于所述壳体内，所述密封部将壳体密封。

9.根据权利要求3-7任一项所述的接触式光谱共焦装置，其特征在于，还包括导向部，所述导向部约束所述相对运动部运动的方向或范围。

10.根据权利要求4-6任一项所述的接触式光谱共焦装置，其特征在于，还包括连接部，所述连接部连接所述相对运动部与接触部，所述连接部与所述接触部或相对运动部可拆卸连接。