[发明专利]一种手机外壳绝缘电阻膜层碳化铬硅镀膜工艺在审

专利信息
申请号: 202111508115.8 申请日: 2021-12-10
公开(公告)号: CN114293143A 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 贾建国 申请(专利权)人: 昆山英利悦电子有限公司
主分类号: C23C14/02 分类号: C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/34;C23C14/58
代理公司: 上海合进知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31324 代理人: 王寿刚
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及手机外壳镀膜技术领域,且公开了一种手机外壳绝缘电阻膜层碳化铬硅镀膜工艺,将手机外壳放入镀膜室内,通过转架对手机外壳固定,设定转架转速为10‑12Hz,抽真空并对加热,设置加热温度为150‑250℃,本底真空镀压强设定为1.0*10(‑2)Pa。该手机外壳绝缘电阻膜层碳化铬硅镀膜工艺使用时,通过设置向镀膜室通入氩气并保持压强在2.0‑6.5Pa,Ar流量设定为100‑350,时间设定为3‑70M,通过偏压电源产生的四组圆柱靶靶电流对手机壳表面进行CrSi/CrSiC膜层镀膜,能够有效降低摩擦系数、增强了镀层的使用性能、稳定性高,避免了传统的镀层存在摩擦系数偏高(摩擦系数均大于0.6)而降低镀层使用性能的问题。
搜索关键词: 一种 手机外壳 绝缘 电阻 碳化 镀膜 工艺
【主权项】:
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