[发明专利]基于微弧离子镀的陶瓷介质滤波器表面镀层方法、陶瓷介质滤波器在审

专利信息
申请号: 202111505091.0 申请日: 2021-12-10
公开(公告)号: CN114481014A 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 杨波;李洪涛;刘灿灿;徐彤;张宁;路永荣;鲍星毅 申请(专利权)人: 江阴微弧金属科技有限公司
主分类号: C23C14/02 分类号: C23C14/02;C23C14/18;C23C14/32;C23C14/48;H01P1/20;H01P11/00
代理公司: 南京行高知识产权代理有限公司 32404 代理人: 王培松;王菊花
地址: 214400 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种基于微弧离子镀的陶瓷介质滤波器表面镀层方法,通过对待处理陶瓷介质滤波器进行超声清洗后,置于微弧离子镀设备真空腔室中的工件架上再依次进行等离子体清洗、沉积金属导电层、二次等离子体清洗、沉积金属打底层、沉积过渡层、沉积Ag镀层步骤以及后处理等步骤,得到具有表面镀层的陶瓷介质滤波器。本发明还提供一种陶瓷介质滤波器。本发明的方法可制备较厚镀层、能精准调控镀层组分,使处理后的陶瓷滤波器表面银镀层界面结合良好、截面结构致密、电学性能优异,整体镀银工艺自动化程度高、稳定性可靠性好。
搜索关键词: 基于 离子镀 陶瓷 介质 滤波器 表面 镀层 方法
【主权项】:
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