[发明专利]小型量子电阻标准器有效
申请号: | 202111498630.2 | 申请日: | 2021-12-09 |
公开(公告)号: | CN114200373B | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 王浩敏;王祎博;王慧山;肖相生;王伟 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;江苏云涌电子科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R35/00 | 分类号: | G01R35/00;H01C3/00 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 卢炳琼 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种小型量子电阻标准器,包括固定背板、固定槽板、芯片托槽、磁体模块、量子霍尔电阻芯片及屏蔽罩,固定槽板固定于固定背板上,固定槽板上设置有凹槽,芯片托槽位于凹槽内;芯片托槽上设置有芯片容纳槽、电性连接点及导线孔,量子霍尔电阻芯片位于芯片容纳槽内,且量子霍尔电阻芯片与电性连接点电连接;磁体模块位于固定槽板及芯片托槽上;屏蔽罩罩设于磁体模块外围,且与固定背板相固定,固定背板和固定槽板同时作为导热机构。本发明可以实现量子电阻芯片的快速更替,可以实现内部固有磁场和外部施加磁场的多方调控,大大优化简化了量子电阻的环境要求,使产品集成化而无需复杂实验室条件,有利于量子电阻标准器的推广与应用。 | ||
搜索关键词: | 小型 量子 电阻 标准 | ||
【主权项】:
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