[发明专利]一种PCB表面薄层品质分析方法在审
| 申请号： | 202111490992.7 | 申请日： | 2021-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN113933328A | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 郑剑;罗国金 | 申请（专利权）人： | 广州添利电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22;G01N23/2202 |
| 代理公司： | 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 | 代理人： | 林伟斌 |
| 地址： | 510555 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种PCB表面薄层品质分析方法，包括以下步骤：使用剪刀，自动取样机将所需要测量区域从PCB板中取出；喷金处理；测试样品固定在金属样品台上，然后将样品台安装在测试平台的斜面上；用电子束沉积第一层保护层；完成电子束沉积之后，使用聚焦离子束沉积第二层保护层；调整测量平台倾斜角度，以保证样品表面能垂直于聚焦离子束的方向进行切割；完成切割后再调整样品倾斜角，即可进行观测。本发明具备由双束扫描电镜对样品进行加工及测试，可以避免制样过程中接触化学溶液、机械应力及杂质污染等影响，通过对双束扫描电镜的测试角度的优化，可以达到近乎于垂直观测效果，以得到准确的测量结果，从而可以快速地完成一系列测试的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pcb 表面 薄层 品质 分析 方法 | ||
【主权项】：
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