[发明专利]一种波带结构光学元件的效率计算方法在审
| 申请号： | 202111484301.2 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114236815A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 童徐杰;陈宜方 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于光学器件技术领域，具体为一种波带结构光学元件的效率计算方法。本发明推广了薄光栅近似的Kirz公式，能够用于计算X射线与极紫外波段具有波带结构的光学元件的理论效率。本发明适用于能够用函数表达的任意波带形貌，包括矩形的波带片形貌、三角形的Kinoform形貌等。同时也可以计算波带形貌函数随周期发生改变的特殊波带结构的效率，例如受工艺因素影响的非矩形波带片。本发明提出的计算方法对光学元件的形貌进行理论分析和效率计算，具有计算简单，针对性强，适用场景广泛的优点，在波带结构光学元件的设计以及性能分析上具有重要的指导作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 光学 元件 效率 计算方法 | ||
【主权项】：
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