[发明专利]一种类光栅结构复合NTC热敏薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202111483558.6 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114134457A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 孔雯雯;宋育贤;高博;李晓旻;王硕;常爱民 | 申请（专利权）人： | 中国科学院新疆理化技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/04;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 乌鲁木齐中科新兴专利事务所(普通合伙) 65106 | 代理人： | 张莉 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种类光栅结构复合NTC热敏薄膜的制备方法。该方法在衬底上生长两种或多种NTC热敏薄膜，不同薄膜以条纹形式生长构成类光栅结构，通过调整薄膜种类和条纹宽度，实现调控NTC薄膜电学性能的目标。该制备一方面，可避免先制备多相复合源材料或靶材，再以此为基本材料制备获得复合薄膜的过程中因为源材料或靶材相分布不均匀而造成薄膜一致性差的问题；另一方面，可避免复合薄膜异质生长过程中因晶格失配或热膨胀系数不匹配而产生界面缺陷，进而导致薄膜质量下降的问题。具有制备工艺简单、成本低、性能可控的优势，可推广至半导体、传感器等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 光栅 结构 复合 ntc 热敏 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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