[发明专利]样品在带电粒子显微镜中的3D映射在审
| 申请号： | 202111482750.3 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114613654A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | J·卡梅内奇 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;周学斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 样品在带电粒子显微镜中的3D映射。可基于样品的3D映射将所述样品定位在带电粒子显微镜的光轴上。用所述样品的背面照明和远心成像来产生所述3D映射，从而产生轮廓图像。组合所述轮廓图像以形成所述3D映射。使用所述3D映射将处理器耦合到样品台以定位所选择的样品或样品部分，以用于在所述带电粒子显微镜中进行成像。在一些实例中，所述处理器使用图形界面对样品的选择作出响应，使得所述样品台被控制以安全地定位所述所选择的样品而无需操作员进一步干预。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 带电 粒子 显微镜 中的 映射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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