[发明专利]一种基于紫外吸收光谱的SF6分解组分气体检测装置

摘要

本申请公开了一种基于紫外吸收光谱的SF6分解组分气体检测装置，包括紫外光源，产生紫外光；准直模块，将紫外光传输并准直后射入第一气体池、第二气体池和第三气体池；第一气体池、第二气体池和第三气体池内部设有反射镜，且接入SF6分解组分气体，通过反射镜将池内紫外光多次反射，反射过程中，池中的SF6分解组分气体吸收相应的紫外光谱，引起出射紫外光光谱的变化；聚焦模块，将气体池出射的紫外光进行聚焦后传输至光谱仪；光谱仪，将接收的紫外光信号转换为电信号并放大；处理模块，分析光谱仪输出的电信号，得到SF6分解组分气体的浓度信息。本发明便于控制，能够实现测量的同时性并保证其准确性，经济成本低廉，极具发展潜力。