[发明专利]一种基于紫外吸收光谱的SF6分解组分气体检测装置

权利要求书

1.一种基于紫外吸收光谱的SF6分解组分气体检测装置，包括紫外光源、准直模块、第一气体池、第二气体池、第三气体池、聚焦模块、光谱仪和处理模块，其特征在于：

所述紫外光源，用于产生检测用紫外光；

所述准直模块，用于将紫外光传输并准直后射入第一气体池、第二气体池和第三气体池；

所述第一气体池、第二气体池和第三气体池内部均设有反射镜，且均接入SF₆分解组分气体，用于通过反射镜将池内紫外光多次反射，反射过程中，池中的SF₆分解组分气体吸收相应的紫外光谱，引起出射紫外光光谱的变化；

所述聚焦模块，用于分别将第一气体池、第二气体池和第三气体池出射的紫外光进行聚焦后传输至光谱仪；

所述光谱仪，用于将接收的紫外光信号转换为电信号并放大；

所述处理模块，用于分析光谱仪输出的电信号，基于比尔郎伯定律，得到SF6分解组分气体的浓度信息。

2.根据权利要求1所述的一种基于紫外吸收光谱的SF6分解组分气体检测装置，其特征在于：

所述紫外光源采用氘灯光源，所产生检测用紫外光的波长与检测气体的种类相对应。

3.根据权利要求1所述的一种基于紫外吸收光谱的SF6分解组分气体检测装置，其特征在于：

所述准直模块包括光纤和三个准直镜；

所述准直镜分别设于第一气体池、第二气体池和第三气体池的进光口；

所述光纤，用于将紫外光源产生的检测用紫外光分别传输至三个准直镜；

所述准直镜将接收的紫外光准直后输入至其相应的气体池。

4.根据权利要求3所述的一种基于紫外吸收光谱的SF6分解组分气体检测装置，其特征在于：

所述准直镜为SMA905准直镜。

5.根据权利要求1所述的一种基于紫外吸收光谱的SF6分解组分气体检测装置，其特征在于：

所述第一气体池、第二气体池和第三气体池采用相同结构，且其内部的反射镜安装位置和数量、尺寸比例均相等。

6.根据权利要求1所述的一种基于紫外吸收光谱的SF6分解组分气体检测装置，其特征在于：

所述聚焦模块包括三个聚焦镜和光纤；

所述三个聚焦镜分别设于第一气体池、第二气体池和第三气体池的出光口，用于将相应出光口射出的紫外光聚焦；

所述光纤，用于将聚焦镜聚焦后的紫外光传输至光谱仪。

7.根据权利要求6所述的一种基于紫外吸收光谱的SF6分解组分气体检测装置，其特征在于：

所述聚焦镜为SMA905聚焦镜。

8.根据权利要求1所述的一种基于紫外吸收光谱的SF6分解组分气体检测装置，其特征在于：

所述处理模块中，分析光谱仪输出的电信号，分别得到第一气体池、第二气体池和第三气体池中紫外光被吸收的光谱；

根据比尔郎伯定律，结合第一气体池、第二气体池和第三气体池中的光程，得到相应的待测气体浓度，将得到的待测气体浓度加权平均，输出最终的待测气体浓度。

9.根据权利要求1所述的一种基于紫外吸收光谱的SF6分解组分气体检测装置，其特征在于：

所述处理模块为计算机，其与光谱仪通过USB数据线连接。

10.根据权利要求1所述的一种基于紫外吸收光谱的SF6分解组分气体检测装置，其特征在于：

所述SF₆分解组分气体包括SO₂和CS₂。