[发明专利]风刀真空闪蒸辅助狭缝涂布制备钙钛矿薄膜的方法在审
| 申请号： | 202111472549.7 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN114420850A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 深圳黑晶光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/48 | 分类号： | H01L51/48 |
| 代理公司： | 广东广盈专利商标事务所(普通合伙) 44339 | 代理人： | 李俊 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区新安街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种风刀真空闪蒸辅助狭缝涂布制备钙钛矿薄膜的方法，包含以下步骤：a.配制钙钛矿前驱体溶液；b.使用风刀气流配合狭缝涂布制备钙钛矿前驱体薄膜；c.采用真空闪蒸工艺辅助钙钛矿前驱体薄膜成膜；d.将钙钛矿前驱体薄膜在退火，得到钙钛矿薄膜。本发明采用风刀气流辅助狭缝涂布制备出均匀无孔洞的中间相湿膜，再采用真空闪蒸迅速去除剩余溶剂，经退火后得到高质量钙钛矿薄膜，有效降低大面积制备钙钛矿薄膜的难度，得到的钙钛矿薄膜无缩孔、膜面质量高。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 闪蒸 辅助 狭缝 制备 钙钛矿 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
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