[发明专利]一种紧凑型偏振激光光轴一致性的测量系统及测量方法在审

专利信息
申请号: 202111467219.9 申请日: 2021-12-03
公开(公告)号: CN114296055A 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 张玺斌;徐亮;刘峰;康晓鹏;赵晋炜;午建军;张嘉瑶 申请(专利权)人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
主分类号: G01S7/497 分类号: G01S7/497
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 赵逸宸
地址: 710119 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明是为了解决现有偏振激光光轴一致性的测量系统及测量方法,采用的测量系统存在体积大、装调困难,同时同轴卡式缩束系统中心遮拦和透过率较低以及易引起系统误差的问题,本发明提出一种紧凑型偏振激光光轴一致性的测量系统及测量方法。本发明是通过将偏振激光经过缩束、衰减,到达第一能量分光镜,一半的偏振激光透射进入光瞳探测支路,直接由光瞳探测器接收激光光斑监测光瞳位置;另一半的偏振激光反射进入光轴探测支路,依次第二能量分光镜、偏振分光镜和反射镜,将激光依次传送到PS光、S光和P光三个不同的探测支路里,由探测器接收激光光斑,监测光斑质心坐标位置,从而实现入射偏振激光光瞳位置和光轴一致性的高精度测量。
搜索关键词: 一种 紧凑型 偏振 激光 光轴 一致性 测量 系统 测量方法
【主权项】:
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