[发明专利]一种微型多源金属超薄膜电极超高真空蒸镀装置及方法有效
| 申请号： | 202111450038.5 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN114381696B | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 潘毅;王受信;张又麒 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/04;C23C14/56;C23C14/16;C23C14/18 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 姚咏华 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型多源金属超薄膜电极超高真空蒸镀装置及方法，包括置于超高真空腔体中能够进行旋转的蒸发器盘体、n个微型蒸发器和样品台支架，样品台支架上固定有m个样品台，在样品台上固定有放置衬底的样品托；通过控制超高真空腔体真空度和加载到微型蒸发器与样品台的电流，利用金属材料与加热丝间的点接触，实现金属单原子、纳米团簇及超薄膜的蒸镀。且由于蒸发器的加热功率较小，避免了对样品造成升温破坏；同时使用掩膜法可在避免样品污染的前提下实现蒸镀图案化原子层薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 金属 薄膜 电极 超高 真空 装置 方法 | ||
【主权项】：
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