[发明专利]一种硅片表面光泽度测试用移动装置有效
| 申请号： | 202111448737.6 | 申请日： | 2021-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN113866133B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 袁恒 | 申请（专利权）人： | 山东天大清源信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/57 | 分类号： | G01N21/57;G01N21/01;F16M11/04;F16M11/18 |
| 代理公司： | 济南龙瑞知识产权代理有限公司 37272 | 代理人： | 靳兵花 |
| 地址： | 274009 山东省菏泽市牡丹区吴*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及了一种硅片表面光泽度测试用移动装置，包括工作台，工作台上设有工作板、测试仪器承载架和显示PLC控制器；工作板用于放置硅片试样，测试仪器承载架用于承载光泽度仪，光泽度仪的检测口面向工作板的上表面；测试仪器承载架包括支架、竖直升降机构、旋转机构和水平直线移动机构；支架固定在工作台上，竖直升降机构固定在支架上，竖直升降机构带动旋转机构升降，旋转机构带动水平直线移动机构旋转，水平直线移动机构带动光泽度仪水平移动，光泽度仪的检测口的零点位置与旋转机构的旋转轴心线重合。本技术方案替代了人工操作方式，消除了人为干扰因素对测试结果的影响，提高了检测质量和检测效率，实现了对各样品操作步骤的统一量化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 表面 光泽 测试 移动 装置 | ||
【主权项】：
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