[发明专利]镍铁基非晶合金薄膜及制备方法、应用其的电磁屏蔽膜与设备在审
| 申请号： | 202111448411.3 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN114134473A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 陈卫红;王杰营;孙海波;石小兰 | 申请（专利权）人： | 佛山市中研非晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/20;C22C45/04;H05K9/00 |
| 代理公司： | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人： | 庞伟健;谭健洪 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镍铁基非晶合金薄膜，其成分包括Ni、Fe、Mo、Cu、Cr、V、N，其各元素的质量百分比为：其中：65wt％Ni≤85wt％，10wt％≤Fe≤30wt％，1wt％≤Mo6wt％，0≤Cu≤5wt％，0≤Cr≤5wt％，0≤V≤5wt％。一种镍铁基非晶合金薄膜制备方法为磁控溅射工艺，通过该工艺制备所得的镍铁基非晶合金薄膜可制备有相应的电磁屏蔽膜及设备；采用本发明所述的化学成分(质量百分比)范围和磁控溅射工艺所制备的镍铁基非晶合金薄膜，具有综合磁性能优异的有益技术效果，利用上述镍铁基非晶合金制备的电磁屏蔽膜及设备，满足高性能要求的电子屏蔽材料的应用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 镍铁基非晶 合金 薄膜 制备 方法 应用 电磁 屏蔽 设备 | ||
【主权项】：
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