[发明专利]一种单轴差分谐振梁表头模组及加速度计在审
| 申请号： | 202111440050.8 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN114397478A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 刘文明;马东;曲天良;冷悦;张红波;宣扬;尹业宏;余文毅;张子康;马晓 | 申请（专利权）人： | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03;G01P1/00 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 范三霞 |
| 地址： | 430000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单轴差分谐振梁表头模组及加速度计，包括真空密封件和两个TO部件；真空密封件包括一两端开口的密封腔体；两个TO部件对称封装于密封腔体的两端；每一TO部件包括TO底座、谐振梁芯片、ASIC混合集成电路、吸气剂组件、吸气剂挡板、陶瓷柱和插针；该表头模组采用两个对称封装于密封腔体的两端的TO部件，形成差分模式结构，环境适应性好，全温范围内精度高；加速度计由四组独立的表头模组，通过冗余配置布局集成，相比安装三轴独立的加速度计，该方案质量和体积小，结构紧凑、精度和可靠性更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单轴差分 谐振 表头 模组 加速度计 | ||
【主权项】：
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