[发明专利]掩膜板有效
| 申请号： | 202111434210.8 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114134460B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 韩冰 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 尹红敏 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供一种掩膜板，掩膜板用于蒸镀待蒸镀基板，掩膜板包括面板区域，面板区域包括蒸镀部和非蒸镀部，至少部分所述非蒸镀部位于所述蒸镀部在第一方向上的一侧，所述非蒸镀部包括第一分部和至少一个第二分部，第一分部与蒸镀部相邻的边界线围合形成非蒸镀区域，至少一个第二分部位于非蒸镀区域内，蒸镀部、第一分部和第二分部中边界相邻的两者的质量空间比不同，质量空间比为各部件自身的质量与自身所占空间的总体积的比值。第一分部与蒸镀部的质量空间比不同，使得第一分部和蒸镀部之间也能够形成材料突变界限，这些材料突变界限能够提高掩膜板的抗形变能力，能够改善产品蒸镀时掩膜板与待蒸镀基板无法有效接触而导致的蒸镀不良问题。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国显光电有限公司，未经昆山国显光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111434210.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
