[发明专利]一种用于检测前驱体材料气化特性的装置及使用方法在审
| 申请号： | 202111432432.6 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114354440A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 陈德义;颜桂花 | 申请（专利权）人： | 南大光电半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N7/16 | 分类号： | G01N7/16 |
| 代理公司： | 广州高炬知识产权代理有限公司 44376 | 代理人： | 薛鹏 |
| 地址： | 239500 安徽省滁州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及反应釜技术领域，具体为一种用于检测前驱体材料气化特性的装置及使用方法，包括反应釜本体，所述反应釜本体的内部开设有反应室，所述反应釜本体的侧壁固定安装有用于向反应室的内部投入物料的导料管，所述反应釜本体的侧壁固定安装有排料管，所述导料管以及排料管的内部均设有控制阀，还包括S1，投料；S2，掺料；S3，气化；S4，收集。本发明通过电机带动反应室内部的转轴转动，对反应室内部的物料进行搅拌，进而提高反应室内部物料间的混合度，带动多个金属板转动，使得金属板快速地发热，然后对反应室内部的物料进行加热，加快反应室内部物料的气化，从而提高气体逸出的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 前驱 材料 气化 特性 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
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