[发明专利]一种用于彩色滤光片的弱碱显影液组合物在审

专利信息
申请号: 202111421412.9 申请日: 2021-11-26
公开(公告)号: CN114035410A 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 刘小勇;黄晓莉;张梦雪;房龙翔;叶鑫煌;肖小江;刘文生 申请(专利权)人: 福建省佑达环保材料有限公司
主分类号: G03F7/32 分类号: G03F7/32;G02B5/20
代理公司: 福州元创专利商标代理有限公司 35100 代理人: 吴姗姗;蔡学俊
地址: 362800 福建省泉州市泉*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种用于彩色滤光片的弱碱显影液组合物,属于湿电子化学品领域,主要应用于微电子材料技术领域,用于显示面板中负性光刻胶的显影。其关键在于特殊非离子型表面活性剂8‑15%,无机弱碱5‑10%,增溶剂1‑5%,余量为水。其中特殊非离子型表面活性剂选自以下结构:;其中,n为5‑15的整数;其中R选自氢原子、卤素原子、饱和烷基、取代烷基、芳基、取代芳基、羧基、酯基、酰基、氰基、硝基、氨基、羟基、烷氧基、苯乙烯基中的任意一种。该弱碱显影液组合物具有碱性低、泡沫低、显影后无光刻胶残留、无基底腐蚀、显影图案清晰、显影液使用寿命长等特点。
搜索关键词: 一种 用于 彩色 滤光 弱碱 显影液 组合
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