[发明专利]用于制造包含由符合高热预算的单晶材料制成的层的部件的方法在审
| 申请号: | 202111420495.X | 申请日: | 2021-11-26 |
| 公开(公告)号: | CN114553162A | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
| 发明(设计)人: | M·布斯凯;P·佩罗;A·赖因哈特 | 申请(专利权)人: | 原子能和辅助替代能源委员会 |
| 主分类号: | H03H3/02 | 分类号: | H03H3/02;H03H3/08 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 过晓东 |
| 地址: | 法国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种用于制造部件的方法,其包括将形成施主衬底(100)的一部分的至少一层一种或多种压电或热电或铁电材料(100a)转移至最终衬底(700)上的操作,所述方法包括经由在单晶压电或热电或铁电材料的所述施主衬底与临时衬底(200)之间产生脆性分离区域而将所述层结合至所述临时衬底的在先步骤,所述区域包括至少两个不同材料层(300、310),以确保易于生成两种化合物中的至少一种的一种或多种构成元素的相互扩散的所述两种化合物达成接触,所述脆性区域允许分离所述临时衬底。 | ||
| 搜索关键词: | 用于 制造 包含 符合 高热 预算 材料 制成 部件 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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