[发明专利]一种快速冷却的镀膜样品台装置及其应用在审
| 申请号： | 202111418416.1 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN114134478A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 肖祁陵;高礼鑫;姜婉琰;葛军饴 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/30 |
| 代理公司： | 济宁汇景知识产权代理事务所(普通合伙) 37254 | 代理人： | 苟莎 |
| 地址： | 200444 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种快速冷却的镀膜样品台装置及其应用，属于真空镀膜设备领域，包括冷却台、样品台及升降部、传动部；冷却台下方设置有样品挡板，样品挡板通过相应连接件与冷却台在竖直方向上相对固定连接；冷却台内设置有冷却介质容纳腔，并由一传输管通至冷却介质容纳腔内，传输管与冷却台固定连接，且传输管向外延伸连通至外部冷源；冷却台的底端位于冷却介质容纳腔的下方开有一开口朝下的样品槽，样品槽内设置有样品台，样品台以能够沿水平方向滑动的方式设置于样品槽内，样品台的下端面作为用于固定样品的工作面；本发明能够在小于1.2个小时内温度下降并稳定至负160℃，且降温后的衬底温度均匀性佳，镀膜效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 冷却 镀膜 样品 装置 及其 应用 | ||
【主权项】：
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