[发明专利]薄膜体声波谐振器结构以及薄膜体声波滤波器有效
| 申请号： | 202111416434.6 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN113852359B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 魏彬 | 申请（专利权）人： | 深圳新声半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/56;H03H9/58 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了薄膜体声波谐振器结构以及薄膜体声波滤波器，所述薄膜体声波谐振器结构。薄膜体声波谐振器包括带有梯形凹槽的基体；所述基体上方布设有缓冲层；所述凹槽和缓冲层之间形成第一空腔；所述缓冲层上方设置有几字形压电层；所述压电层的几字形凸起下表面设有第一电极；所述第一电极与所述缓冲层之间形成第二空腔；所述几字形压电层的上表面设有第二电极；所述保护层覆盖与所述第二电极和外露的沉积压电层表面。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 结构 以及 滤波器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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