[发明专利]一种单晶炉拉晶装置有效
| 申请号： | 202111396573.7 | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN114232071B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 叶钢飞;傅林坚;朱亮;胡建荣;叶雷江;梁晋辉;魏怡凡;曹建伟 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06;C30B15/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及单晶炉，尤其涉及一种单晶炉拉晶装置，包括：机架；外轴、内轴，夹持机构，夹持机构连接于外轴的底部，以及驱动机构包括：第一驱动组件，第一驱动组件固定于固定座上并作用于外轴，用于驱动外轴和内轴在第一方向上移动；第二驱动组件，第二驱动组件固定于移动座上并作用于内轴，用于独立驱动内轴在第一方向上移动；以及旋转驱动组件，旋转驱动组件固定于移动座上并作用于外轴，用于驱动外轴旋转。本申请采用内轴和外轴分别提升的方式，在晶棒缩颈从而得到夹持部，在驱动下提升外轴和托板，再通过工艺要求对晶棒进行第二次放肩，并以预设的速度进行拉晶，从而使得拉制出的晶棒的重量作用于托板上，减小细晶的受力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉拉晶 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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