[发明专利]一种单晶炉拉晶装置

权利要求书

1.一种单晶炉拉晶装置，其特征在于，包括：

机架，所述机架包括：

固定座，所述固定座包括第一座、第二座以及导向杆；

移动座，所述移动座通过所述导向杆滑移连接于所述第一座和所述第二座之间，所述移动座具有第一方向移动的自由度；

外轴，所述外轴呈中空，所述外轴连接于所述移动座上且具有轴向旋转的自由度；其中，第一方向和轴向均为竖直方向；

内轴，所述内轴位于所述外轴的内部，且所述内轴与所述外轴呈共轴，所述内轴连接于所述外轴，且具有第一方向移动的自由度，所述内轴的底部连接有籽晶；

夹持机构，所述夹持机构连接于所述外轴的底部，所述夹持机构包括：

承重杆，承重杆具有多个，所述承重杆连接于所述外轴的底部；

托板，所述托板固定连接于所述承重杆上；以及

夹块，所述固定于所述托板上，所述夹块至少具有两个，且所有夹块关于所述内轴的中心轴呈中心对称，所有夹块之间形成夹持空间；所述夹块包括夹块座、夹块本体以及限位块，夹块本体通过夹块座连接于托板上，夹块座固定连接于托板上；夹块本体的第一端转动连接于夹块座上，使得夹块本体相对于托板能够纵向转动；限位块用于限制夹块本体的位置；

其中，所述托板呈环形且内部具有圆形通道；

驱动机构，所述驱动机构包括：

第一驱动组件，所述第一驱动组件固定于所述固定座上并作用于所述外轴，用于驱动所述外轴和所述内轴在第一方向上移动；

第二驱动组件，所述第二驱动组件固定于所述移动座上并作用于所述内轴，用于独立驱动所述内轴在第一方向上移动；以及

旋转驱动组件，所述旋转驱动组件固定于所述移动座上并作用于所述外轴，用于驱动所述外轴旋转。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于，所述固定座包括第一座和第二座，所述第一座和所述第二座沿第一方向布置，所述移动座容置于所述第一座和第二座之间；所述外轴穿设并连接于所述移动座和所述第二座上。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于，所述外轴与内轴之间设置有定位组件，所述定位组件包括：

定位套，所述定位套固定于所述外轴的内壁上，所述定位套的中心位置具有方形通道，所述方形通道与所述内轴呈共轴设置；

方轴，所述方轴穿设于所述方形通道内，且与所述方形通道的内壁贴合，所述方轴连接于所述内轴上，且与所述内轴共轴设置。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于，在内轴与外轴之间设置有密封组件，所述密封组件包括：

环形连接座，所述环形连接座位于所述内轴与所述外轴之间，所述环形连接座与所述外轴共轴设置，且所述环形连接座的顶部固定连接于所述外轴上；

环形密封件，所述环形密封件固定于所述环形连接座的底部，且所述环形密封件的侧壁与所述内轴相抵触。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于，所述承重杆具有多个，所述承重杆轴向均匀分布于所述外轴的底部，且所述承重杆沿第一方向设置；所述托板呈环形且与所述外轴共轴设置，所述夹块均匀分布于所述托板上。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于，每个所述夹块的设置方向经过所述托板的圆心，所述夹块位于所述托板的上方且夹块的第一端与托板转动连接，每个所述夹块的第二端朝向所述托板的圆心，且所有夹块的第二端之间形成所述夹持空间；其中，所述夹块的下底面可抵触于托板上，使得所述夹块被限位于所述托板上方。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于，所述托板上方设置有隔离罩，所述隔离罩罩设所述夹持空间；所述隔离罩具有锥形顶部，在所述锥形顶部上开设有通孔，所述通孔与所述内轴呈共轴设置。