[发明专利]全桥式电阻应变式压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202111395105.8 | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN114383763A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 林维;黄东亚;李根生 | 申请（专利权）人： | 林赛思尔（厦门）传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;黄进 |
| 地址： | 361015 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全桥式电阻应变式压力传感器及其制备方法，所述压力传感器包括基底和形成在基底上的四个电阻应变传感单元，所述电阻应变传感单元包括基底上的凹槽以及通过熔融沉积工艺填充在凹槽中的半导体材料，四个电阻应变传感单元在基底上呈中心对称分布并且是在同一道熔融沉积工艺中制备形成，任意两个电阻应变传感单元的连接节点上设置有一金属焊盘；所述电阻应变传感单元包括多个直线部以及将多个直线部串联的连接部，所述直线部沿着从一个所述金属焊盘到邻近的另一个所述金属焊盘的方向延伸。本发明通过同一道熔融沉积工艺在基底上同时制备获得构成全桥电路的四个电阻应变传感单元，使得该压力传感器具有体积小以及灵敏度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 全桥式 电阻 应变 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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