[发明专利]基于连续旋转的干涉仪及其工作方法在审
| 申请号： | 202111389871.3 | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN114136442A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 向俊杰;喻正宁;李锐;俞晓峰;吴锋明;韩双来 | 申请（专利权）人： | 杭州谱育科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/45 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311305 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了基于连续旋转的干涉仪及其工作方法，基于连续旋转的干涉仪包括第一光源、第一透反镜和第一探测器，第一光源用于发射测量光；第一反射镜和第二反射镜关于所述第一透反镜对称设置，第一反射镜用于反射测量光的穿过第一透反镜的透射光，第二反射镜用于反射测量光在第一透反镜上的反射光；第一反射单元包括：第一旋转臂绕着旋转轴旋转；第三反射镜和第四反射镜分别设置在第一旋转臂上，且关于旋转轴对称；当第三反射镜和第四反射镜旋转到第一工作位时，第三反射镜用于将第一反射镜上的反射光反射回第一反射镜，第四反射镜用于将第二反射镜上的反射光反射回第二反射镜。本发明具有扫描速度高、信噪比高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 连续 旋转 干涉仪 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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