[发明专利]波纹管泵在审
| 申请号： | 202111387508.8 | 申请日： | 2021-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN115704379A | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 朴海申;李承宗;尹汝俊;朴民镜 | 申请（专利权）人： | 株式会社一诺迪思 |
| 主分类号： | F04B43/107 | 分类号： | F04B43/107;F04B53/00;F04B53/16 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 郑红梅 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种波纹管泵。本发明的一实施例的波纹管泵，使用于半导体工艺，包括：主体，在内部形成有抽吸并供应药液的一对泵室，并且具有压缩并供应流进所述泵室的药液的一对波纹管；盖，分别以螺纹结合组装于所述主体两侧，以堵住所述泵室的开放的部分以进行封闭；及控制主体，结合于组装所述盖的所述主体的一侧面，并且控制向所述主体内部供应压缩空气；在所述盖压入并且结合组装于所述主体的压入式肋条，将向外侧凸出压入的所述前端圆周面的面加工部面加工成与所述主体的一侧面相对应，所述控制主体的至少一部分可紧贴接触于所述面加工部。 | ||
| 搜索关键词： | 波纹管 | ||
【主权项】：
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