[发明专利]一种铜栅线异质结太阳电池的生产集成设备及方法

摘要

本发明实施例提供了一种铜栅线异质结太阳电池的生产集成设备，包括光注入模块和磁控溅射镀膜设备；其中磁控溅射镀膜设备包括上下游依次设置的制程前室、制程室和制程后室；其中制程前室对待镀膜的样品预热；制程室对预热后的待镀膜的样品镀膜；制程后室将镀膜后的样品冷却；光注入模块设置在制程前室内用于对待镀膜的样品进行光注入处理。本发明的实施例将光注入模块集成到磁控溅射设备的某些非镀膜腔室中，在铜栅线异质结太阳电池进行磁控溅射沉积TCO薄膜及金属薄膜前完成光注入处理，有效解决了铜栅线异质结太阳电池的光注入增效与焊接可靠性之间的矛盾。