[发明专利]精密掩膜板和掩膜板在审
| 申请号： | 202111367576.8 | 申请日： | 2021-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN114032499A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 邱岳;王子豪;李伟丽;韩冰;李文星 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 尹红敏 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种精密掩膜板和掩膜板，精密掩膜板包括掩膜板主体，掩膜板主体包括至少一个蒸镀区域、至少部分围绕蒸镀区域的遮挡区域以及围绕蒸镀区域和遮挡区域的边缘区域，其中，蒸镀区域包括多个精密蒸镀孔，边缘区域包括多个边缘区开孔，遮挡区域包括多个凹槽。本申请中提供的精密掩膜板中，由于遮挡区域、边缘区域和各蒸镀区域的支撑强度差异小，从而可以在对精密掩膜板进行张网的过程中，使得各个区域受到的应力差异减小，从而降低张网后精密掩膜板出现褶皱的概率，提升产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 掩膜板 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国显光电有限公司，未经昆山国显光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111367576.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：GH5188合金均匀化热处理工艺的确定方法
- 下一篇：高温尼龙及其制备方法
- 同类专利
- 专利分类
