[发明专利]集成电路盐雾腐蚀可靠性试验装置及控制方法在审
| 申请号： | 202111362355.1 | 申请日： | 2021-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN114167255A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 于子良;任坤华 | 申请（专利权）人： | 中车工业研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R15/12;G01N17/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 么立双 |
| 地址： | 100070 北京市丰台区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种集成电路盐雾腐蚀可靠性试验装置及控制方法，试验装置包括试验箱、承载台、信号采集箱和喷淋组件。承载台设于实验腔内，承载台上设有多个芯片，信号采集箱设于实验腔内，承载台设于信号采集箱的上端面，信号采集箱内设有多个万用表，万用表用于采集芯片的电学信号，万用表和显示面板通讯连接，显示面板用于显示电学信号，喷头位于对应的芯片上方，用于向芯片喷淋盐雾。本发明提供的集成电路盐雾腐蚀可靠性试验装置，通过设置万用表用以采集芯片的电学信号，并且通过实时采集，还可以得到腐蚀程度随时间变化的曲线，可以得到更加准确的盐雾测试数据，有助于分析芯片的盐雾腐蚀可靠性试验研究。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 腐蚀 可靠性 试验装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
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