[发明专利]一种直立石墨烯电化学电极检测芯片及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202111350525.4 申请日: 2021-11-15
公开(公告)号: CN114062457A 公开(公告)日: 2022-02-18
发明(设计)人: 丁显波;钟西舟;赵鑫;宋航 申请(专利权)人: 深圳市溢鑫科技研发有限公司
主分类号: G01N27/30 分类号: G01N27/30
代理公司: 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 代理人: 刘曰莹;谢志龙
地址: 518000 广东省深圳市南山区西丽*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种直立石墨烯电化学电极检测芯片及其制作方法,该直立石墨烯检测芯片包括:基材和生长于所述基材上的直立石墨烯层,所述基材上预制有一套或多套凹槽,所述直立石墨烯层生长填充于所述凹槽内,形成有一个或多个电化学电极集成化检测芯片结构;所述直立石墨烯层的高度小于或等于所述凹槽的深度。所述制作方法包括以下步骤:提供一基材,并在所述基材上预制一套或多套凹槽;在所述凹槽内生长直立石墨烯层;对生长完成的直立石墨烯层进行处理,使所述直立石墨烯层的上表面与所述基材的上表面相平齐。本发明基材上的凹槽对纳米级脆弱的直立石墨烯层具有保护效果,且一定程度上降低了检测芯片的厚度,提高了后续应用的稳定性和可靠性。
搜索关键词: 一种 直立 石墨 电化学 电极 检测 芯片 及其 制作方法
【主权项】:
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