[发明专利]一种直立石墨烯电化学电极检测芯片及其制作方法在审
| 申请号: | 202111350525.4 | 申请日: | 2021-11-15 |
| 公开(公告)号: | CN114062457A | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
| 发明(设计)人: | 丁显波;钟西舟;赵鑫;宋航 | 申请(专利权)人: | 深圳市溢鑫科技研发有限公司 |
| 主分类号: | G01N27/30 | 分类号: | G01N27/30 |
| 代理公司: | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人: | 刘曰莹;谢志龙 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市南山区西丽*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明公开一种直立石墨烯电化学电极检测芯片及其制作方法,该直立石墨烯检测芯片包括:基材和生长于所述基材上的直立石墨烯层,所述基材上预制有一套或多套凹槽,所述直立石墨烯层生长填充于所述凹槽内,形成有一个或多个电化学电极集成化检测芯片结构;所述直立石墨烯层的高度小于或等于所述凹槽的深度。所述制作方法包括以下步骤:提供一基材,并在所述基材上预制一套或多套凹槽;在所述凹槽内生长直立石墨烯层;对生长完成的直立石墨烯层进行处理,使所述直立石墨烯层的上表面与所述基材的上表面相平齐。本发明基材上的凹槽对纳米级脆弱的直立石墨烯层具有保护效果,且一定程度上降低了检测芯片的厚度,提高了后续应用的稳定性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 直立 石墨 电化学 电极 检测 芯片 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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