[发明专利]一种平板显示器用合金溅射靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202111350335.2 | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN114231915B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 周志宏;肖世洪;雷雨;刘芳 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;C21D9/00;C22C1/03;C22C1/06;C22F1/18;C22F3/00 |
| 代理公司： | 广州一锐专利代理有限公司 44369 | 代理人： | 朱蓉艳 |
| 地址： | 510000 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平板显示器用合金溅射靶材，包括钼铌、细化晶粒剂、稀土元素改进剂和流动剂；钼铌、细化晶粒剂、稀土元素改进剂、流动剂的物质质量比为（9‑11）：（1‑4）：（1.5‑2.5）：0.5。本发明合金溅射靶材制备中，采用以钼铌为主要金属元素制备而成的平板显示器用合金溅射靶材；该靶材具有较高的密度以及延展性，进而保证了靶材中各成分的均匀性、减少靶材中气孔以及微裂纹的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平板 显示 器用 合金 溅射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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