[发明专利]一种薄膜蒸镀装置在审
| 申请号： | 202111340957.7 | 申请日： | 2021-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN113981408A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 臧世伟 | 申请（专利权）人： | 重庆金美新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人： | 李宇绘 |
| 地址： | 404100 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜蒸镀装置，包括真空腔体，所述真空腔体包括顶端开口的本体和设置到所述本体的开口端的盖板，所述本体具有相对的第一侧壁和第三侧壁、相对的第二侧壁和第四侧壁，还包括设置到所述本体内的第一辊筒组件，所述第一辊筒组件设有至少一个第一辊组件；所述第一辊组件包括分别与所述第一侧壁相对的第一放卷辊、第一过辊、第二过辊、第三过辊和第一收卷辊；所述本体的内部设有用于对薄膜的A面和B面分别进行蒸镀的第一下部蒸发源和第一上部蒸发源。本发明可实现薄膜的两面的镀膜工作，生产效率高，生产成本低，生产时间少，生产场地的占用空间小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 装置 | ||
【主权项】：
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