[发明专利]晶圆表面缺陷的检测方法及其检测系统有效
| 申请号： | 202111340689.9 | 申请日： | 2021-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN113916904B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 邓华夏;马孟超;龚兴龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/956;G01N21/55 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种晶圆表面缺陷的检测方法及其检测系统，晶圆表面缺陷的检测方法包括：将预设投影编码图案投射到待测晶圆表面，以使预设编码图案经待测晶圆表面反射得到反射图案，反射图案带有待测晶圆表面的信息；采集反射图案的光强值；根据反射图案的光强值确定待测晶圆表面的频谱系数；以及根据待测晶圆表面的频谱系数对晶圆表面缺陷进行分析。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 缺陷 检测 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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