[发明专利]多级除湿装置、废气处理系统及除湿控制方法有效
| 申请号： | 202111328357.9 | 申请日： | 2021-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN114130168B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 杨春水;宁腾飞;章文军;张坤;陈彦岗;杨春涛;王继飞;席涛涛;闫潇 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/26 | 分类号： | B01D53/26;B01D47/14;B01D53/30;F28C1/02;G05D27/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 邢大鑫 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种多级除湿装置、废气处理系统及除湿控制方法，多级除湿装置包括壳体和位于壳体内部且沿壳体内的气体流向依次设置的第一风扇、换热组件和第二风扇，第一风扇、换热组件和第二风扇同轴设置。气体在换热组件处遇冷降温，气体中的水分冷凝，第一风扇与第二风扇增强气体流动的对流效果，加速气体的降温干燥，对气体达到除湿效果，使排出气体的达到温湿度要求。本发明的多级除湿装置可在不影响负压的情况下，直接安装在废气处理系统内，达到除湿效果，方便现有设备改造，降低厂务除湿需求更换机台成本。解决半导体制造过程中对温湿度方面的要求，提升设备除湿能力，降低厂务端酸排管路积水跌落，高危砸伤风险。 | ||
| 搜索关键词： | 多级 除湿 装置 废气 处理 系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司，未经北京京仪自动化装备技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111328357.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
