[发明专利]多级除湿装置、废气处理系统及除湿控制方法

说明书

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种多级除湿装置、废气处理系统及除湿控制方法，多级除湿装置包括壳体和位于壳体内部且沿壳体内的气体流向依次设置的第一风扇、换热组件和第二风扇，第一风扇、换热组件和第二风扇同轴设置。气体在换热组件处遇冷降温，气体中的水分冷凝，第一风扇与第二风扇增强气体流动的对流效果，加速气体的降温干燥，对气体达到除湿效果，使排出气体的达到温湿度要求。本发明的多级除湿装置可在不影响负压的情况下，直接安装在废气处理系统内，达到除湿效果，方便现有设备改造，降低厂务除湿需求更换机台成本。解决半导体制造过程中对温湿度方面的要求，提升设备除湿能力，降低厂务端酸排管路积水跌落，高危砸伤风险。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种多级除湿装置、废气处理系统及除湿控制方法。

背景技术

泛半导体制程废气中含有大量有毒有害气体，伴随制程工艺不同，粉尘量也不同，尤其是金属制成粉尘含量较高，所以废气处理设备基本采用高温裂解或反应，再加水洗喷淋冷却的处理方式以消除废气中的有毒物质和降低粉尘，对温湿度的要求是生产工艺无温湿度要求时，控制温度为20～26℃，相对湿度低于70％。因此在废气处理过程中存在的以下一些问题：

1、废气处理系统排放到厂务端时，相对湿度RH90％，造成厂务端酸排管路积水、高危砸伤等问题；

2、机台数量成倍增加，废气处理系统的单台负压降低，设备内压损严重容易宕机，影响生产效率；

3、相关技术中常用的除湿设备体积较大，又无法满足半导体安全等性能要求；

4、增加相关多级除湿装置，现有机台更换成本高，除湿效果并不明显；

5、吸附式除湿方式，效率低、效果差，洗水后容易造成致密影响负压，且固废处理问题容易引起二次污染。

发明内容

本发明提供一种多级除湿装置、废气处理系统及除湿控制方法，用以解决相关技术中除湿装置更换成本高，除湿效果并不明显，厂务端酸排管路积水跌落，高危砸伤风险的缺陷，实现气体在换热组件处遇冷降温，气体中的水分冷凝，第一风扇与第二风扇增强气体流动的对流效果，加速气体的降温干燥，以此对气体达到除湿效果，最终使排出气体的达到温湿度要求效果。

本发明提供一种多级除湿装置，包括壳体和位于所述壳体内部且沿所述壳体内的气体流向依次设置的第一风扇、换热组件和第二风扇，所述第一风扇、所述换热组件和所述第二风扇同轴设置。

根据本发明提供的一种多级除湿装置，所述换热组件包括冷端换热件和热端换热件，所述第一风扇、所述冷端换热件、所述热端换热件与所述第二风扇沿所述气体流向依次设置。

根据本发明提供的一种多级除湿装置，所述冷端换热件包括冷端换热器与冷端翅片，所述热端换热件包括热端换热器与热端翅片，所述冷端翅片沿所述冷端换热器的周向环绕设置于所述冷端换热器的外侧，所述热端翅片沿所述热端换热器的周向环绕设置于所述热端换热器的外侧。

根据本发明提供的一种多级除湿装置，还包括设置于所述壳体内部的吸附件，所述第一风扇、所述换热组件、所述第二风扇和所述吸附件沿所述气体流向依次设置，所述吸附件在所述壳体的横截面上填充。

根据本发明提供的一种多级除湿装置，所述吸附件包括有色硅胶和/或鲍尔环。

根据本发明提供的一种多级除湿装置，还包括设置于所述壳体内部的第一湿度传感器、第二湿度传感器和温度传感器，所述第二风扇、所述第一湿度传感器、所述吸附件、所述第二湿度传感器和所述温度传感器沿所述气体流向依次设置。

本发明还提供一种废气处理系统，包括水洗塔和如上所述的多级除湿装置，所述水洗塔的内部设有喷头，所述水洗塔的出口与所述壳体的进口连通。