[发明专利]一种KDP表面微缺陷仿形潮解修复装置及修复方法有效
| 申请号： | 202111311595.9 | 申请日： | 2021-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN114055322B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 黄帅;李明浩 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B55/00;B24B1/00 |
| 代理公司： | 湖南岑信知识产权代理事务所(普通合伙) 43275 | 代理人： | 刘洋 |
| 地址： | 410000 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种KDP表面微缺陷仿形潮解修复装置及修复方法，包括机器视觉系统、仿形抛光头、连接结构、负压装置、微水雾通道和微细冷等离子体通道、负压孔以及待修复表面微缺陷的KDP晶体。本发明采用仿形抛光头，结合KDP表面微缺陷精准识别定位、微细冷等离子体超亲水改性，实现微缺陷仿形潮解抛光修复。本发明的有益效果如下：可使水介质在仿形抛光头和待修复区域之间均匀铺陈，潮解速率和区域可控，避免修复过程中新的缺陷引入，在微缺陷修复之后可获得理想的球形或高斯型曲面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 kdp 表面 缺陷 潮解 修复 装置 方法 | ||
【主权项】：
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