[发明专利]掩膜板及掩膜板结构在审
| 申请号： | 202111288508.2 | 申请日： | 2021-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN113832431A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 吴建鹏;孙国栋;张锴 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 梁鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种掩膜板及掩膜板结构。该掩膜板包括板体。该板体包括设有镂空孔的通刻区，所述通刻区包括间隔设置的多个有效蒸镀区以及位于相邻的两个所述有效蒸镀区之间的间隔区；多个所述有效蒸镀区中存在至少两个所述有效蒸镀区沿着第一方向分布；沿着所述第一方向分布的相邻的两个所述有效蒸镀区之间的所述间隔区中包括非镂空区，所述非镂空区的面积大于所述镂空孔的面积。本公开能够提高蒸镀效果。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 板结 | ||
【主权项】：
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