[发明专利]基于硅光电倍增管的亚微米单光子量级微小光斑测量方法有效
| 申请号： | 202111279574.3 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN114046731B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 张国青;杨亚贤;曹馨悦;张晨;刘丽娜 | 申请（专利权）人： | 西安工程大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01J1/44 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 韩玙 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开的基于硅光电倍增管的亚微米单光子量级微小光斑测量方法，利用硅光电倍增管作为单光子响应探测器，结合精密位移台，通过二维或一维空间扫描和反卷积运算，得到了经过显微镜物镜聚焦的单光子量级脉冲激光光斑的尺寸与光强的空间分布。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光电倍增管 微米 光子 量级 微小 光斑 测量方法 | ||
【主权项】：
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