[发明专利]废液处理装置和涂胶显影设备在审
| 申请号： | 202111274858.3 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN113996092A | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 郭绪斌;郭生华 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D21/02 | 分类号： | B01D21/02;B01D21/24;B01D21/00;G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种废液处理装置，包括收集部、沉积容器、废液导管、废液容器和排出部；所述收集部用于废液收集；所述沉积容器、所述废液导管和所述废液容器内部相通，实现废液从所述沉积容器经所述废液导管流入所述废液容器；所述排出部与所述废液容器内部相通，用于排出废液，实现易堆积的废料和不易堆积的废液相互分离，既有利于降低容器的更换频率，又有利于防止厂务管道堵塞。本发明还提供了一种涂胶显影设备，具有所述废液处理装置。 | ||
| 搜索关键词： | 废液 处理 装置 涂胶 显影 设备 | ||
【主权项】：
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