[发明专利]一种薄膜体声波谐振器和薄膜体声波滤波器在审
| 申请号： | 202111268160.0 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN114006599A | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 于海洋;张智欣;孙伟彬;闫鑫;陈长娥;倪烨;陈晓阳 | 申请（专利权）人： | 北京航天微电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 翟磊 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜体声波谐振器和薄膜体声波滤波器，薄膜体声波谐振器包括依次层叠设置的第二电极层、压电层、第一电极层和衬底，在衬底上进行全反射结构的制备，并在每个散热盲孔内填充导热散热材料和高阻材料，使本申请的一种薄膜体声波谐振器，在维持原本高Q值的同时，还解决传统薄膜体声波谐振器因导散热能力不足而产生的温度影响，且结构可靠性强，利于集成，且制备工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】：
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